TNO EBL2 Delft

In opdracht van TNO Delft, en in samenwerking met PP4C partner Deerns, hebben wij een cleanroom van 265 m² gerealiseerd. De HVAC installatie is geïnstalleerd door Heijmans te Rotterdam.

In het voortraject zijn wij door Ingenieursbureau Deerns benaderd om mee te denken over de bouw van een cleanroom voor het EBL2 concept, een Extreme Ultra Violet Belichtings- en analysefaciliteit 2, welke binnen een jaar geplaatst diende te worden in een complete cleanroom, specifiek voor dit doel gebouwd.

In goed overleg hebben we in samenwerking met Deerns de uitvoeringsdetails bepaald. De grote vraag binnen TNO luidde; ‘waar deze cleanroom te realiseren?’. Een uitvoerig onderzoek, waar binnen vele varianten zijn bestudeerd, was er voor nodig om uiteindelijk gezamenlijk te bepalen dat de kelderruimte de meest bevoorrechte ruimte was om dit prestigieuze project op te bouwen.

Voor deze cleanroom hebben wij ons beloopbaar plafondsysteem BPM100 toegepast, met als bijzonder detail dat er gedeeltelijk diffuus licht doorlatende glaspanelen zijn toegepast. Teneinde een goede doorloop van het project te garanderen, en het geheel binnen een korte tijdspanne te kunnen realiseren, is een intensieve planning sessie met partner Heijmans doorgevoerd waarin vele details vooraf zijn besproken. We mogen gezamenlijk spreken over een geslaagd project!

Met onze PP4C partner Bolidt, hebben we de bestaande vloer voorzien van een speciale nieuwe toplaag. PP4C partner WERO heeft de classificatie-schoonmaak verzorgd. De goede samenwerking tussen alle betrokkenen, heeft tot een juiste oplevering datum geleid en een tevreden klant!

Na de perfecte oplevering van de cleanroom, stond TNO voor de uitdaging de machine te installeren, zoals bovenstaand genoemd. In onderstaand vermeld artikel kunt u meer informatie vinden over deze bijzondere ontwikkeling binnen TNO: https://time.tno.nl/nl/artikelen/unieke-onderzoeksfaciliteit-tart-het-extreem-ultravioletlicht/