Luchtzuivering
De vervuilde lucht in een cleanroom gaat via grovere stof- en fijnstof filters de AHU in en wordt via een absoluut filter opnieuw de cleanroom ingebracht. De opbouw is noodzakelijk om te voorkomen dat het absoluut filter snel vervangen dient te worden. Een absoluut filter wordt veelal aangeduid als HEPA of ULPA filter.
HEPA (high efficiency particulate air):
Houdt deeltjes met een diameter van 0,3 µm tegen met een doeltreffendheid van 99,97%.
ULPA (ultra-low penetration air):
Houdt tenminste deeltjes met een diameter van 0.1 µm tegen met een doeltreffendheid van 99.999%.
Er zijn verschillende methodes om de lucht in de cleanroom te brengen, o.a.:
- Via Filterboxen in het plafondrooster van verschillende aard
- Via air-sockets
- Via Filter Fan Units
- Via open plenum
Bij verzadiging van een HEPA / ULPA filter dient deze onverwijld te worden vervangen. De kleinste beschadiging bij plaatsing kan de werking van een HEPA / ULPA filter al ernstig benadelen en is direct reden voor vervanging!