ISO 14644 is de internationale norm voor de classificatie van de luchtzuiverheid in cleanrooms en de testmethodes voor het monitoren van deze ruimtes.

• ISO 14644-1: (2016) Classificatie van luchtreinheid op basis van deeltjesconcentratie
• ISO 14644-2: Monitoren om aan te tonen dat de luchtreinheid in de cleanroom voldoet aan de gestelde deeltjesconcentratie limiet
• ISO 14644-3: Testmethode
• ISO 14644-4: Ontwerp, constructie en opstart
• ISO 14644-5: Bewerking
• ISO 14644-6: Vocabulaire
• ISO 14644-7: Scheidingsapparaten (schone luchtkappen, dashboardkastjes, isolatoren en Omgevingsomstandigheden
• ISO 14644-8: Classificatie van moleculaire verontreiniging in de lucht
• ISO 14644-9: Classificatie van reinheid van oppervlakdeeltjes

Na jarenlang in revisie te zijn geweest is dan toch eindelijk in 2016 een nieuwe definitieve versie van ISO 14644-1, getiteld ‘Stof- en kiemarme ruimten en omgevingen – Deel 1: Classificatie van luchtreinheid op basis van deeltjesconcentratie gepubliceerd. De norm is niet gewijzigd sinds 1999.  De herziening van de norm was echter al begonnen in 2007. Veel concepten zijn gepubliceerd, bijv. in 2011, 2012, 2014 en 2015, maar niet enkele van deze concepten kon de definitieve status te bereiken.

De nieuwe versie bevat in hoofdzaak de volgende wijzigingen:

• Het aantal meetpunten wordt gedefinieerd in een tabel en hoeft niet meer te worden berekend als de vierkantswortel van het oppervlak.
• Geen statistische Upper Confidence Level (UCL) berekening.
• Geen limiet voor >5 µm deeltjes voor ISO 5.