Luchtzuivering

De filtering van de gebruikte lucht gaat via grof stof- en fijnstof filters het kanaal in en verlaat deze via een absoluut filter. De opbouw is noodzakelijk om te voorkomen dat het absoluut filter snel vervangen dient te worden. Een absoluut filter wordt veelal aangeduid als HEPA filter, de afkorting staat voor ‘High Efficiency Particulate Air’.

Er zijn verschillende gradaties van filtering. De H13 en H14 klasse filters zijn vaak gebruikt en hebben een retentie van respectievelijk 99,95 en 99,995%. Dat betekent dat stofdeeltjes groter dan 0,3 micrometer met genoemd % worden tegengehouden.

De hoogste klasse heeft het U17 filter met een retentiewaarde van 99,999995%! De specificaties van HEPA filters zijn gespecificeerd in de Europese norm 1822:2009.

Er zijn verschillende methodes om de lucht in de cleanroom te brengen, o.a.:

  • Via plafondrooster van verschillende aard
  • Via air-sockets
  • Via Filter Fan Units
  • Via open plenum

Bij verzadiging van een HEPA filter dient deze onverwijld te worden vervangen. De kleinste beschadiging bij plaatsing kan de werking van een HEPA filter al ernstig benadelen en is reden voor vervanging!