Luchtstroomsystemen

Niet alleen de hoeveelheid lucht (circulatie veelvoud) en het type filter zijn bepalend voor de kwaliteit van de lucht en de te behalen kwalificatie. De hoeveelheid verontreiniging door mensen en productie zijn van grote invloed. De wijze waarop deze verontreiniging wordt afgevoerd is bijzonder belangrijk.

Opnieuw wordt het belang van een goed PvE (programma van eisen) hier benadrukt. Hierin dient per cleanroom ruimte beschreven te worden wat de verontreiniging zal gaan inhouden tijdens het productieproces, maar ook eventuele warmtelasten en afzuigingsunits, het gebruik van gassen, aantal personeelsleden actief, e.d.

Al deze gegevens zijn mede bepalend met welk stroomsysteem de vervuilde lucht zal worden afgevoerd c.q. worden gerecirculeerd in het systeem. Deze luchtstromen zijn te verdelen in:

  • Turbulente stroming
  • Down Flow stroming
  • Cross Flow stroming

Bij een Down Flow stroommethode wordt vaak een verhoogde vloer ingezet en is de onderliggende ruimte gebruikt als retourkanaal. Dergelijke vloersystemen vragen een afwijkende bouwwijze.