Nicht nur die Luftmenge (Umwälzmenge) und die Art des Filters bestimmen die Qualität der Luft und die zu erreichende Qualifikation. Auch die Menge der Verunreinigungen durch Mensch und Produktion sind von großem Einfluss. Wie diese Verunreinigungen beseitigt werden, ist besonders wichtig.
Auch hier wird die Bedeutung eines guten Anforderungsprogramms (PoR) hervorgehoben. Darin sollte für jeden Reinraum beschrieben werden, was die Kontamination während des Produktionsprozesses mit sich bringt, ebenso wie etwaige Wärmelasten und Absauganlagen, die Verwendung von Gasen, die Anzahl der tätigen Personen usw.
Anhand all dieser Daten lässt sich bestimmen, mit welchem Strömungssystem die verunreinigte Luft abgeführt oder in das System zurückgeführt wird. Diese Luftströme können unterteilt werden in:
- Turbulente Strömung
- Unidirektionaler Durchfluss
- Cross Flow
Bei einem Uni Directional Flow-Verfahren wird regelmäßig ein Doppelboden eingesetzt und der darunter liegende Raum als Rücklaufkanal genutzt. Solche Bodensysteme erfordern eine andere Bauweise.